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           Critical Dimension (CD)校準標樣

          Critical Dimension (CD)校準標樣

          Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens

          適用SEM、FIB、AFM

           

           

          尤其適用于SEM / FIB放大倍數校準,亦可用于校準AFM。使用高性能SEMFIB的顯微學家和工程師將會發現這款標樣非常有用。該標樣于4.8 x 4.8mm硅片上含系列條紋,款式分三種:

           

           

           

          產品

             

          critical dimension specimen with a 10-5-2-1-0.5um structure

           

          CD 10-5-2-1-0.5um

          中心區含五組條紋,條紋間距被清楚地標記,分別為:10.0um、5.0µm、2.0µm、1.0µm、 0.5µm。中心條紋區可用于AFM測量。條紋通過蝕刻方式在硅表面形成,深約200nm。Si表面無鍍層。根據認證與否,分兩種:

          -未認證

          - PTBPhysikalische Technische Bundesanstalt - German counter part of NIST)認證,獨立編號

           



          產品代碼

          描述

          單位

          618-5

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未編號,不含樣品座

          618-7

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證可溯源,不含樣品座

          618-5A

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座A

          618-5B

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座B

          618-5C

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座C

          618-5D

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座D

          618-5E

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座E

          618-5F

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座F

          618-5G

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座G

          618-5K

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座K

          618-5L

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座L

          618-5M

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座M

          618-5O

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座O

          618-5P

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,未認證,含樣品座P

          618-7A

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座A

          618-7B

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座B

          618-7C

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座C

          618-7D

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座D

          618-7E

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座E

          618-7F

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座F

          618-7G

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座G

          618-7K

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座K

          618-7L

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座L

          618-7M

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座M

          618-7O

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座P

          618-7P

          CD 10-5-2-1-0.5µm標樣,認證,含樣品座P

           

          500-200-100nm structure critical dimension specimen

           

          CD 500-200-100nm:

          500-200-100nm structure critical dimension specimen

           

          這種先進的CD標樣適用更小尺度的校準。CD 500-200-100nm標樣含三組條紋,條紋間距被清楚地標記,分別為500nm、200nm、100nm。中心條紋區可用于AFM測量。條紋通過蝕刻方式在硅表面形成,深約45-50nm 。Si表面無鍍層。

           

          產品代碼

          描述

          單位

          618-4

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,不含樣品座

          618-4A

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座A

          618-4B

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座B

          618-4C

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座C

          618-4D

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座D

          618-4E

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座E

          618-4F

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座F

          618-4G

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座G

          618-4K

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座K

          618-4L

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座L

          618-4M

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座M

          618-4O

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座O

          618-4P

          CD 500-200-100nm標樣,未認證,含樣品座P

           

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